全球观点：ASML为应对芯片禁令，或推中国特供光刻机？阉割7nm/14nm能力

众所周知，近日关于光刻机的禁令靴子落地了。

(资料图片)

按照荷兰的规则，用于14nm及以下芯片的制造的设备/技术，不能出口，除非获得许可证。原则基本与美国是一致的。

在光刻机上，荷兰稍微的放开了一点点，那就是浸润式光刻机中，TWINSCAN NXT:2000i及后续型号不能出口，但NXT:1980Di可以出口。

这款NXT:1800Di光刻机，非常特殊，采用193nm光源，分辨率小于等于38nm，数值孔径为1.35NA，目前全球晶圆厂们在使用它时，大多是生产14nm以上逻辑工艺，也就是28nm及以上。

但另外一方面，它又是一台浸润式光刻机，虽然是193nm光源，但经过水介质之后，等效于134nm的光源，那么经过多重曝光之后，理论上依然可以满足14nm甚至7nm左右的工艺生产。

所以它是一台比较敏感的光刻机，可以禁止出口，也可以不禁止，就看如何去定性了。

也因为它的敏感性，ASML也有点左右为难，所以有媒体报道称，ASML正在做一个计划，那就是阉割这台NXT:1980Di光刻机，使其不敏感，能够不受争议的出口到中国来。

怎么阉割呢，就是对其支持的工艺进行改进，比如说让它无法支持到14nm及7nm这个级别，只能让他用于28nm工艺。

这样ASML就可以没有争议的将它出口出去，不会有任何问题。

要知道之前日本，为了解决这种有争议的设备，也就是既能用于28nm及以上的工艺，也能用于14nm及以下工艺的设备，日本是直接一刀切，全部禁止出口的。

但对于ASML而言，又不想这么干，因为如果一台浸润式光刻机也不能卖到中国来，那么中国有可能研发出自己的光刻机，那么ASML就可能与中国市场无缘了。

ASML的总裁温克宁曾经说过说，如果对中国进行禁售，要不了多久，中国什么都能自己搞出来，那么就没我们什么事了。

所以对于ASML而言，一方面是不想丢掉中国这个市场，但另外一方面又要让出口的光刻机，没有争议，所以阉割其受争议的功能，确实是一个好办法，毕竟英伟达、英特尔都干过类似的事情，将芯片进行阉割，让它能够符合出口禁令，不被管制。

当然，以上也只是媒体的猜测，ASML会不会真的这么干，还是一个未知数，但说实话，这事是完全有可能发生的，因为ASML有动力，有理由这么干。

最后，还是希望国产光刻机赶紧雄起，先不说EUV光刻机，只要我们自己能够研发出浸润式光刻机，情况就会立即改变，一旦我们有了，禁令估计也就没有任何意义了，就像刻蚀机一样，我们拥有3nm技术的刻蚀机，所以刻蚀机就不存在禁令。

关键词：

(责任编辑：黄俊飞)